单晶硅炉C/C坩埚
主要技术指标
坩埚类型 | 碳纤维含量(%) | 密度(g/cm3) | 环向拉伸强度(Mpa) | 弯曲强度(Mpa) | 弹性模量(Gpa) | 压缩强度(Mpa) | 灰分(ppm) |
COSMO-A型 | >80 | >1.5 | >100 | ≥120 | >25 | >250 | ≤200 |
传统C/C坩埚 | ≈30 | ≥1.35 | >60 | >80 | >15 | >180 | ≤200 |
技术特性
1. 纤维含量高:采用纯炭布(不含网胎和短纤)热压成型,CVD增密,成品炭纤维含量大于80%,较传统C/C坩埚炭纤维含量高2.5倍以上。
2. 高压成型,高纯化学气相增密,
3. 无“壁厚效应”:材质均匀,性能稳定,安 全性高。
4. 表面强化层:表面有高纯度、高密度(≥1.75g/cm3)的强化层,抗硅腐蚀、抗氧化、防炭污染,使用寿命长。